大陸晶片製造技術再突破 美國刪除低溫蝕刻設備禁運法條

北方華創擁有大陸最先進的晶片低溫蝕刻設備製造技術。圖/取自北方華創
北方華創擁有大陸最先進的晶片低溫蝕刻設備製造技術。圖/取自北方華創

美國國會最近大幅刪減對大陸的晶片設備禁運清單,原因是大陸晶片製造技術不斷突破美方的封鎖,其中包括記憶體製造的先進技術「晶片低溫蝕刻」(Cryogenic Etching)。

晶片低溫蝕刻是在低於攝氏零下20度的條件下進行晶片蝕刻,可以增加3D NAND的堆疊層數(由200層增至300層、400層以上),是目前最先進的記憶體製造技術。全球晶片低溫蝕刻製造設備的領頭廠商包括美國加州的科林研發(Lam Research)和日本東京威力科創(Tokyo Electron)。

大陸目前已具備自製低溫蝕刻設備的能力,但先進製程與美日廠商仍有代差。大陸蝕刻設備廠主要廠商包括中微公司(AMEC)與北方華創(NAURA),其中,北方華創已在14奈米製程中成功安排其自產設備,並正在中芯國際的7奈米產線上進行測試。

為了突破美國及其盟國的晶片設備出口管制,北京已要求大陸晶片製造商在擴充產能時,自製設備的使用率必須達到50%以上;根據大陸官方規畫,2025年,大陸晶片設備自給率要達到24%2028年要達到32%

美國眾議員鮑加納(Michael Baumgartner)於4月初提出MATCH(硬體技術管制多邊協調法案),希望藉由對大陸的晶片關鍵設備及技術的禁運,維護美國在人工智慧(AI)領域的領先地位。

MATCH提出後,美國及海外廠商感到不安,該法案不僅迫使盟友與美國的管制措施保持一致,還增加了新的全國性的、廣泛的企業限制;製造商表示,新法案使得他們的出口減少;為此,提案議員刪除部分禁運清單,並計畫下周由眾議院外交委員會表決進行表決。

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